金融界2025年1月18日音问,国度学问产权局消息显示,杰宜斯科技有限公司申请一项名为“半导体修造装配及其负责举措”的专利,公然号 CN 119314902 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发觉多个履行例涉及半导体修造装配,该半导体修造装配可包罗:多个杯部,用于接督工序时期喷射的化学物质;马达驱动模块,用于驱动马达以安排所述杯部的上下处所;多个压力阀,用于驱动气缸以安排所述杯部的上下处所;以及处置器,用于负责所述马达驱动模块及所述压力阀。
金融界2025年1月18日音问,国度学问产权局消息显示,杰宜斯科技有限公司申请一项名为“半导体修造装配及其负责举措”的专利,公然号 CN 119314902 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发觉多个履行例涉及半导体修造装配,该半导体修造装配可包罗:多个杯部,用于接督工序时期喷射的化学物质;马达驱动模块,用于驱动马达以安排所述杯部的上下处所;多个压力阀,用于驱动气缸以安排所述杯部的上下处所;以及处置器,用于负责所述马达驱动模块及所述压力阀。